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第484章 我不会让你输

第484章我不会让你输

陈学兵说出这句话,内心也经过了一番挣扎。

扶柳传上位,让张汝京退位,这些事若传出去,以后人们不知会怎样看他。

可事情往往就是这么反直觉。

柳传还有利用的价值,张汝京继续待在中芯,却是一点好处都没有了。

这一点都不公平,可是...它需要这么发生。

「陈总,你到底站在哪一边?!」张汝京背起了手,有些激动地问道。

陈学兵早已有了迎接怒火的准备,此时十分冷静地回答:「自然是国产半导体这一边「」

「砰!」

张汝京猛地将桌上的诉讼副本拍在桌面上,语气里满是悲愤与倔强:「台积电要我退位?我偏不退!他们告一次,我接一次!1.75亿美元的赔偿我扛了,90nm,甚至65nm的技术难关我闯了,现在你告诉我,要我用退位换和解?这不是妥协,这是认输!是对所有跟著我回国干半导体的兄弟的背叛!」

陈学兵端坐不动,等张汝京的怒火稍歇才缓缓道:「张董,65nm你可以靠193nm浸没式光刻和偏光照明、opc、ret这些光学技巧硬闯过去,可45nm不是光靠技巧就能解决的。

「台积电和英特尔在45nm已经用上了193nm浸没式:na值1:2的光刻机:高na透镜:双重曝光,中芯呢?你们连一台真正的193i都还没完全跑顺,更别说dp工艺整合、套刻精度、overlay控制。

「45nm的栅极cd要求已经到了40nm以下,单靠193nm单曝,衍射极限摆在那里,线宽粗糙度(lwr)、cd均匀性根本压不下去。

「更别说hkmg(高k金属栅)、应变矽、低k介质、铜互连的电迁移问题,这些不是买几台设备就能解决的,需要整个工艺平台的积累。

「台积电在45nm已经做了两年以上的工艺验证,中芯现在连65nm的良率都稳定不了,你告诉我,45nm靠什么跟他们拼?靠勇气吗?」

这顿输出,把张汝京说哑了。

他没想到一个投资人,竟然跟他讲技术问题,还把问题讲得如此专业和具体。

实际上陈学兵此前对晶圆制造也就知道个流程,晓得哪些工艺比较关键,这次是让辛梦真咨询了dct请来的日本专家,废了很大的劲才把这些专业名词的含义大概掌握,不过根据中芯国际面临的层层技术阻碍,不需要深懂,已经让张汝京无法回答了。

「45纳米,单曝必死,多重曝光是唯一的量产路径。」

陈学兵沉声说罢,又再问道:「如果没有台积电许可,自研多重曝光死路一条,张董你告诉我,你打算怎么解决这个问题?」

前方全是台积电和inter的专利墙,强做就是专利侵权,甚至没有人家的授权和技术文档,做下去也是成本爆炸。

他问得如此具体,张汝京已经没法用「决心」两个字来回答了。

「我们可以研究混合曝光方案...」张汝京虽回答了,但也有些势弱。

混合曝光,本质上是「能单曝就单曝,实在不行才用多重曝光」的折中方案。

专利风险虽然小一点,但仍然存在,而且单曝多曝工艺不一致,技术缺点太多,是工艺集成工程师的噩梦,这不是长久之路。

陈学兵微微失望的表情摇头,也说明著他的答案并不具备可行性。

张汝京的脸色一阵青一阵白,嘴唇动了动,却一个字也说不出来。

陈学兵的话像一把钝刀,在刺他的肉。

他背过身去强忍著情绪,眼眶都有些憋红了。

此时,接待室的门被轻轻推开,一个工作人员快步走了进来。

「张董,陈总,李市长和江董事到了。」

话音刚落,两道身影便走了进来。

李市长身著中山装,气质沉稳,目光扫过房间里凝重的气氛,微微皱了皱眉。

江上舟跟在一旁,头发花白,面容温和,一眼就看到了张汝京紧绷的神情和泛红的眼眶,眼中有些心疼。

「啧。」江上舟略带责怪地看著陈学兵一方,「有话好好说嘛。」

陈学兵点头致意。

张汝京像是抓住了最后一根救命稻草,快步走到江上舟面前,声音再次洪亮起来:「江秘书长,你可来了,陈总逼著我退位,说只有我退了,台积电才肯和解,才肯给我们45nm的技术授权...可这是我一手创办的中芯,是我带著兄弟们拼出来的基业,我怎么能就这么退了?」

江上舟拍了拍张汝京的肩膀,示意他冷静,目光转向陈学兵微微颔首,而后扶著张汝京走到沙发边坐下,轻声道:「汝京,先别急,慢慢说。」

「当年是我劝你来上海建厂,我清楚你心里的那份执念―让中国人能用上自己造的晶片,不再被外人卡脖子,这份初心,我比谁都懂。」

「可是...前两天陈总和我通过电话,跟我说明了情况。」

这个「可是」一出口,张汝京表情再次沉了。

陈学兵也眼观鼻,鼻观心。

今天所有来的人,都是他的说客。

这对张汝京属实有点残忍了,他不忍心看。

「可你也要清楚,现在的局势,容不得你任性。」江上舟的声音缓缓响起,带著多年为官的沉稳与通透,「中芯的资金短缺、良率困境,这些都不是你靠一己之力就能扛过去的,你退位,不是认输,是为了中芯能活下来,为了那些跟著你的员工能有饭吃,为了大陆半导体能有未来。」

「江秘书长,连你也帮他?我退位了,中芯就不是我创办的中芯了!」

江上舟握住张汝京的手:「不,中芯还是中芯,只要它还在做大陆自己的晶片制造,只要它还能撑起半导体产业的希望,它就还是你一手创办的中芯...」

李市长也上前,低声讲了一些国家大局,牺牲成全之类的话。

俩人劝了好一阵,竟给张汝京说得热泪盈眶的。

要不还是老一辈革命工作者会做思想工作,陈学兵真不擅长这个。

他见张汝京语气稳下来,才道:「张董,我没有把你赶出去的意思,只是让你当个幕后董事长,股份和期权权力保留,会有专人向你定期汇报中芯的各项工作,还可以安排专人董事来传达你的意见,而且也不是让你马上就退,少说有半年到一年的过渡期,退了以后,你还是可以做你热爱的半导体工作。」

众人安静了下来。

张汝京亦恢复了冷静:「你想错了,台积电和我是有些恩怨,但他们著急把我赶出去,是怕我大干快上,继续建厂,并且中芯有很多人是我从世大半导体带过来的,世大被台积电收购以后,不乏熟悉台积电工艺细节的工程师,他们怕我继续挖人,形成持续的技术外流,我是中芯融资、建厂、技术叠代的重要动力,他们要摧毁的是这个,你想让我当幕后指挥,他们根本不会同意,甚至根本不会让我在半导体行业继续工作。」

陈学兵沉思了一会,一一解答:「第一,建厂工作可以暂时停一停,我们首先要拿到当前多重曝光技术的授权,只有把制程节点技术提升起来,才有建新厂的必要。」

「第二,融资工作我会负责,在来到这里之前,我已经做好充分的资金准备。」

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