投影式光刻机就是完全不接触，直接用精密镜头把图案缩小，投射到晶圆上。

这种不仅完全不刮片、不脏片，而且分辨率极高。

接近式光刻机分辨率的极限是3-5微米，当初陈望伺服电机和打字计算机的芯片就是擦着接近式光刻机的极限制造出来的。

但是投影式光刻机的起步点就是1-2微米，然后通过不断升级，分辨率的单位就能从微米变成纳米。

这些都是后话了，此时陈望首要的是要把微米级别的投影式光刻机研发出来。

因为本质不同，所以想要研发出投影式光刻机有几大难点需要攻克。

比如高精度缩小投影镜头，亚微米级对准系统，高精度工作台，更强更稳定的光源与照明，还有掩膜、环境、工艺的全部升级。

对于陈望来说，其中最难的就是高精度缩小投影镜头，因为这东西的材料国内现在根本烧不出来。

而其他几个难点在他研发接近式光刻机的时候或多或少都改进了行业的生产工艺，研发了相关的仪器设备，现在还有加工精度能达到亚微米级别的机床，所以工作台、导轨、结构件这些卡脖子的机械部分都不算大问题。

所以现在最大的难点就是光学玻璃材料。

但是陈望已经搞出来了！

他今天就是去测试成品的，如果成功就没有难点了，嘿嘿嘿！

陈望研制的是硼冕玻璃，国内叫qb21，不过国内只能生产出工业用的普通玻璃。

而陈望需要的是光刻级别，高透、零气泡、零条纹、超低应力、超高均匀性，只有这些都达到之后，才能用来做投影式光刻的镜头。

而此时陈望就在对自已制造出来的特级qb21一步一步进行检查。

第一步就是强光透射，看其没有气泡、结石、杂质、条纹······

陈望先把灯箱通电预热，灯管发出刺眼的青白色强光，箱内风扇轻微嗡嗡响。

他拿上深色的护目镜戴上，把玻璃斜对着光源，与光线成三十到四十五度角，然后从侧面缓缓转动，让强光从玻璃内部穿透过来.......

片刻之后，安静得只有机器运转的实验室响起陈望得意的自自语声。

“完美！”

“漂亮！”

小才十分无语，“你这才看一个面，高兴什么呢。”

“没办法，其他面肯定更完美！”陈望说着把玻璃正对着光源开始观察，“看见没有，简直完美无缺！”

“来，我们再来看这一面，啧啧啧，一丝波纹、丝状的影子都没有，这简直就是极品中的极品！”

最后陈望全表面、无死角的看完之后一脸感叹的摇摇头，“我怎么能这么厉害，整块玻璃没有一点瑕疵，我敢保证这比德国的bk7还要完美！”

小才夹着嗓子，“我敢保证这比德国的bk7还要完美～你就检测了个强光投射，其他的都没有检测得意什么呢！”

陈望：“.......你觉不觉得这话有些似曾相识？”

小才：“——”

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